MEMS(微机電(diàn)系统)是一种基于CMOS工艺的集成技术。它将传感器/微处理(lǐ)器/信号处理(lǐ)与控制集于一體(tǐ)，有(yǒu)效缩小(xiǎo)了系统的體(tǐ)积，是一种先进的加工技术。

　　MEMS测试难点

　　1.電(diàn)容是MEMS的必测项。電(diàn)容式微传感器是MEMS系统中常用(yòng)的传感器，它负责接收外界的信号并转换為(wèi)電(diàn)學(xué)信号。这个電(diàn)容值很(hěn)小(xiǎo)，一般為(wèi)pF量级。测试设备所能(néng)施加的交流频率和電(diàn)容测量的精度是需要考虑的因素。

　　2.電(diàn)阻是MEMS的必测项。電(diàn)阻式传感器在MEMS系统中非常常见其阻值的变化可(kě)以表征外界信号的变化。MEMS系统中的電(diàn)阻范围较大，因此测试设备的電(diàn)压電(diàn)流动态范围也必须足够大。

　　测试方案：

　　TH2851阻抗分(fēn)析仪+探针台

　　测试参数：MEMS输出電(diàn)容C、MEMS输出電(diàn)阻R

　　TH2851系列阻抗分(fēn)析仪是同惠電(diàn)子采用(yòng)当前國(guó)际先进的自动平衡電(diàn)桥原理(lǐ)研制成功的新(xīn)一代阻抗测试仪器，為(wèi)國(guó)产阻抗测试仪器的最新(xīn)高度。其彻底颠覆了传统國(guó)产仪器复杂繁琐的操作界面，基于Windows10操作系统，实现了全電(diàn)脑化操作界面，让测试更智能(néng)、更简便。

　　TH2851系列阻抗分(fēn)析仪也彻底超越了國(guó)外同类仪器120MHz的频率瓶颈；解决了國(guó)外同类仪器只能(néng)分(fēn)析、无法单独测试的缺陷；中英文(wén)操作界面也解决了國(guó)外仪器仅有(yǒu)英文(wén)界面的尴尬；采用(yòng)单测和分(fēn)析两种界面，让测试更简单。快达2.5ms的测试速度、及高达40MΩ的阻抗测试范围可(kě)以满足元件与材料的测量要求，特别有(yǒu)利于低损耗(D)電(diàn)容器和高品质因数(Q)電(diàn)感器的测量。四端对的端口配置方式可(kě)有(yǒu)效消除测试線(xiàn)電(diàn)磁耦合的影响，将低阻抗测试能(néng)力的下限比常规五端配置的仪器向下扩展了十倍。