最近，我遇到了一个关于测试薄膜材料電(diàn)阻率的项目。客户需要一个探针台，并且需要配备一台仪器来进行電(diàn)阻率测试。為(wèi)了满足客户的要求，我决定采用(yòng)四探针法加上源表的方法来进行薄膜材料的電(diàn)阻率测试。

　　四探针法是一种常用(yòng)的测试電(diàn)阻率的方法，它通过使用(yòng)四个探针来测量薄膜材料的電(diàn)阻。这种方法可(kě)以减少接触電(diàn)阻的影响，提高测试的准确性。而源表则是一种用(yòng)于電(diàn)阻测试的仪器，它可(kě)以提供稳定的電(diàn)流源和精确的電(diàn)压测量，从而实现精准的電(diàn)阻率测试。

　　测试方案搭配：

　　方案一：

　　探针台+源表

探针台示意图

源表示意图

　　搭配示例：

　　广州四探针RTS-2型台子：

　　基本指标：

　　间距：1±0.01mm；

　　针间绝缘電(diàn)阻:≥1000MΩ；

　　机械游移率:≤0.3％；

　　探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；

　　探针压力：5～16牛顿(总力)；

　　吉时利2450源表：

　　原理(lǐ)简述：

　　什么是電(diàn)阻率？

　　一种材料的電(diàn)阻率表征的是阻碍電(diàn)流流过的能(néng)力的大小(xiǎo)。其单位為(wèi)Ω·m/Ω·cm。如果電(diàn)流很(hěn)容易在某种材料中流过，那么该材料有(yǒu)较低的電(diàn)阻率；如果電(diàn)流很(hěn)难流过某种材料，那么该材料有(yǒu)较高的電(diàn)阻率，電(diàn)阻率為(wèi)材料的本质物(wù)理(lǐ)属性，与大小(xiǎo)和形状无关。

　　常见材料電(diàn)阻率：

　　薄膜材料電(diàn)阻率测试----方块電(diàn)阻：

　　ρ：单位Ω·m

　　V:测得的電(diàn)压

　　I：测得的電(diàn)流

　　W:宽

　　H:高

　　L:長(cháng)

　　补充：

　　•通常需要测各种材料的薄膜或薄片電(diàn)阻，如果材料可(kě)以做成長(cháng)方形，那么就可(kě)以像测量条状样品一样测量電(diàn)阻率；

　　•有(yǒu)一种特殊情况，当W宽度和L長(cháng)度相等时，此时材料為(wèi)正方形，電(diàn)阻值被称為(wèi)方块電(diàn)阻Rs，即表面電(diàn)阻率。

　　薄膜材料電(diàn)阻率测试----四探针法：

　　•对于任意形状和任意大小(xiǎo)的薄膜材料，比较方便的方法是四探针法

　　•要求：

　　①四点共線(xiàn)②四根针等间距③材料長(cháng)度和宽度遠(yuǎn)大于探针间距。

　　测试提示：

　　探针接触方式

　　探针接触应保持一定的压力，但不同材料的性质不同，有(yǒu)些材料的電(diàn)阻率会随外加压力变化而改变，因而测试前要依据具體(tǐ)的测试材料而适当的改变探针压力。首先用(yòng)粗调键旋转探针至样品表面，略有(yǒu)压力后停止。再细调一定距离，保证测量时表面读数稳定后即可(kě)。

　　总而言之，為(wèi)了满足客户的需求，我决定采用(yòng)四探针法+源表的方法来进行薄膜材料的電(diàn)阻率测试。这种方法可(kě)以提供准确的测试结果，并且避免了接触電(diàn)阻的影响。通过这种方法，我们可(kě)以為(wèi)客户提供高质量的测试服務(wù)。