MEMS(微机電(diàn)系统]是一种基于CMOS工艺的集成技术。它将传感器/微处理(lǐ)器/信号处理(lǐ)与控制集于一體(tǐ)，有(yǒu)效缩小(xiǎo)了系统的體(tǐ)积，是一种先进的加工技术。

　　MEMS测试难点:

　　1.泄露電(diàn)流是MEMS的必测项目。泄漏電(diàn)流是指MENS在非工作状态时的電(diàn)流值，其值大小(xiǎo)将决定系统能(néng)耗的大小(xiǎo)。MEMS系统的泄漏電(diàn)流一般都小(xiǎo)至pA量级，因此在测试泄漏電(diàn)流时，需要带前量放大器的高精度的源表设备。

　　2.電(diàn)容是MEMS的必测项。電(diàn)容式微传感器是MEMS系统中常用(yòng)的传感器，它负责接收外界的信号并转换為(wèi)電(diàn)學(xué)信号。这个電(diàn)容值很(hěn)小(xiǎo)，一般為(wèi)pF量级。测试设备所能(néng)施加的交流频率和電(diàn)容测量的精度是需要考虑的因素。

　　3.電(diàn)阻是MEMS的必测项。電(diàn)阻式传感器在MEMS系统中非常常见其阻值的变化可(kě)以表征外界信号的变化。MEMS系统中的電(diàn)阳范围较大，因此测试设备的電(diàn)压電(diàn)流动态范围也必须足够大。

　　4.MEMES工艺监控也是MEMS测试的重要内容。MEMS使用(yòng)CMOS工艺进行加工制造，為(wèi)使系统性能(néng)稳定，各步骤工艺必须严格监测。比如载流子浓度，载流子迁移率都能(néng)都是需要监测的参数。这需要使用(yòng)能(néng)进行此类测试的電(diàn)學(xué)设备。

　　测试方案:

　　测试设备:4200A-SCS，SMU模块+CVU模块，TH2851阻抗分(fēn)析仪

　　测试载台:高功率探针台/测试夹具

　　TH2851系列阻抗分(fēn)析仪也彻底超越了國(guó)外同类仪器120MHz的频率瓶颈；解决了國(guó)外同类仪器只能(néng)分(fēn)析、无法单独测试的缺陷；中英文(wén)操作界面也解决了國(guó)外仪器仅有(yǒu)英文(wén)界面的尴尬；采用(yòng)单测和分(fēn)析两种界面，让测试更简单。