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搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备

发布日期:2023-11-01 11:01:46         浏览数:   

  半导體(tǐ)测试包括前期的研发,后期的生产的测试。

  前期研发,进行材料测试,晶圆测试,后期的器件测试等。

  材料测试常用(yòng)的是LCR数字電(diàn)桥,阻抗分(fēn)析仪,网络分(fēn)析仪,電(diàn)源,万用(yòng)表,源表,静電(diàn)计,半导體(tǐ)参数分(fēn)析仪,探针台,信号发生器,功率放大器,示波器等等。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图1)

  比如测试薄膜等材料,需要测试阻抗,容值等,根据频率需要用(yòng)到数字電(diàn)桥或者阻抗分(fēn)析仪,或者测试介電(diàn)常数,用(yòng)到阻抗分(fēn)析仪或者网络分(fēn)析仪。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图2)

  数字電(diàn)桥的频率一般是几Hz~几MHz,阻抗分(fēn)析仪是几MHz~3GHz,网络分(fēn)析仪可(kě)以测试大于3GHz的介電(diàn)常数。根据测试频率选择合适的仪器。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图3)

  除了介電(diàn)常数之外,还需要测试IV曲線(xiàn)等,可(kě)以用(yòng)源表测试。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图4)

  测试小(xiǎo)于nA级别的電(diàn)流,需要用(yòng)到静電(diàn)计,万用(yòng)表等。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图5)

  需要测试多(duō)端器件,可(kě)以用(yòng)双通道源表或者半导體(tǐ)参数分(fēn)析仪。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图6)

  两端器件或者三端器件可(kě)以用(yòng)双通道源表测试,比如二极管,三极管等。三端以上器件,就需要用(yòng)到半导體(tǐ)参数分(fēn)析仪了,比如吉时利4200A,或者是德科(kē)技B1500A。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图7)

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图8)

  配合探针台可(kě)以实现多(duō)端器件的测试。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图9)

  封装好的半导體(tǐ)器件,需要供電(diàn),还要用(yòng)到電(diàn)源,或者信号发生器和功率放大器。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图10)

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图11)

  测试产生的波形会用(yòng)到示波器,比如测试三极管的放大倍数的时候等,只要观察波形,都需要示波器。

搭建一个半导體(tǐ)实验室需要什么设备(图12)

  半导體(tǐ)测试从前到后需要进行非常多(duō)的测试项目,所用(yòng)到的仪器也非常多(duō),以上只是一部分(fēn),供大家参考。


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